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在曝光线宽为90 nm的投影光刻机中,准分子激光光源发出的矩形截面光束,需要进行一维扩束,以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。......
分析计算了X光束的相干性对X光全息图分辨率的影响.结论是,X光无透镜傅里叶交换全息术所要求的相干长度和分辨率与样品尺寸成二次......
以高斯型的功率谱模型为基础在理论上计算了高增益激光器的运转状态与光束的时间相干性之间的依赖关系.在实验上研究了CuBr激光的......
为了研究介质参数对受激布里渊散射(SBS)时间相干性的影响,提出一种基于迈克耳孙干涉仪的测量及验证方法。理论上分析温度对SBS时......
本文就多纵模Ar 激光时间相干性(即相干长度)与输出功率的关系进行了实验观测,得到了相干长度与输出功率关系近似为双曲线函数的实......